有一些人把原子荧光光度计与X射线荧光光谱仪误认为是同一种仪器，其实它们是有区别的。首先我们分别了解下它们的定义。
　　1、原子荧光光度计是利用硼氢化钾或硼氢化钠作为还原剂，将样品溶液中的待分析元素还原为挥发性共价气态氢化物（或原子蒸汽），然后借助载气将其导入原子化器，在氩—氢火焰中原子化而形成基态原子。基态原子吸收光源的能量而变成激发态，激发态原子在去活化过程中将吸收的能量以荧光的形式释放出来，此荧光信号的强弱与样品中待测元素的含量成线性关系,因此通过测量荧光强度就可以确定样品中被测元素的含量。
　　2、X射线荧光光谱仪用Ｘ射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光Ｘ射线，需要把混合的Ｘ射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的Ｘ射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫Ｘ射线荧光光谱仪。由于Ｘ光具有一定波长，同时又有一定能量，因此，Ｘ射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型。
　　尽管二者都是把物质激发后检测其荧光，但二者的区别很大，从大的方面看主要有两点：
　　1、激发光源不同。
　　原子荧光用的光源很多，如各种激光等，但很少见有用X-射线的；而X-射线荧光则是用X-射线作激发光源。
　　2、用途不同。
　　原荧主要用来作定量分析，尤其是金属元素的定量分析；而X荧主要用来作定性分析和结构分析。当然二者的仪器构造、使用方法、检测范围、样品制备等等都不一样。